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切片+显微观察(光学显微镜OM、扫描电镜SEM、透射电镜TEM)

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异物/污染分析

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【表面材料分析手段】:

 

AES 俄歇电子能谱仪应用

FT-IR 傅立叶红外显微镜应用

 

SEM/EDS 扫描电子显微镜/X射线能谱仪应用

 

TEM 透射电镜(定点/非定点制样及上机观察)

 

XPS X射线光电子能谱仪应用

Micro Raman Spectroscopy  显微拉曼光谱分析

 

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